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墊片式高純氣體過濾器

VCR金屬墊片式過濾器OEM制造商

 

金屬墊片式過濾器全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計、兼容1/4”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護(hù)敏感氣體組件、延長設(shè)備壽命、預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄露風(fēng)險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設(shè)備提供經(jīng)濟(jì)高效的防污屏障。

 

產(chǎn)品特點

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

3、可以作為表面密封的過濾器,所以不需要能外的工作(切割/接管道用于過濾安裝)

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、能有效阻隔微粒侵襲,守護(hù)敏感氣體組件

5、定制化服務(wù):支持特定尺寸、規(guī)格和特殊氣體工況的需求

 

無論您需適配半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng),為 MFC 模塊 / 精密閥門找防微粒屏障,還是升級現(xiàn)有配管防污方案 —— 我們隨時等候咨詢!

 

您可電話或微信直連技術(shù)顧問,1 對 1 獲取產(chǎn)品推薦與支持。我們的金屬墊片式過濾器,全金屬材質(zhì)、兼容 1/4”/3/8”/1/2”VCR 接口,墊片式便捷安裝,400℃高溫下阻微粒,還可選低壓 / 高壓型,滿足多樣需求。?

 

依托 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)、耐溫耐壓耐腐特性及定制服務(wù),我們已服務(wù)多領(lǐng)域,更以透明價格、及時售后保障采購無憂。我們不止是供應(yīng)商,更愿做您信賴的伙伴,共護(hù)設(shè)備穩(wěn)定運行!

 

產(chǎn)品類型

 

1、適用于高壓系統(tǒng)的管路

最大正向壓差:

1/2”:2.9Mpa.

1/4”:10.4Mpa

流量范圍:0~300slpm

 

2、適用于低壓的系統(tǒng)管路(VCR過濾墊片)

最大使用壓力:0.98Mpa

流量范圍:0~100slpm

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您的VCR過濾墊片可能會用到以下地方:

 

1、半導(dǎo)體制造設(shè)備:光刻機(jī)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沅積(PVD)等設(shè)備的高純氣體管路連接

2、氣體控制面板(IGS):用于高純氣體管路中的顆粒過濾和密封

3、醫(yī)療設(shè)備:氣體輸送系統(tǒng)中的過濾與密封

4、工業(yè)氣體輸送系統(tǒng):確保高純度氣體在連接點處的潔凈和密封

5、實驗室設(shè)備:氣相色譜儀、質(zhì)譜儀等對氣體純度有嚴(yán)格要求的設(shè)備

半導(dǎo)體、LED、光伏及MEMS設(shè)備連接中提供超高純度過濾,滿足閥歧管箱、氣柜。

 

按定制化需求分類?

 

1. 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格系列?

特點:默認(rèn) 1/4”、3/8”、1/2”VCR 接口,316L 不銹鋼材質(zhì),常規(guī)過濾精度,現(xiàn)貨供應(yīng)?

優(yōu)勢:交付周期短,無需額外設(shè)計,滿足通用場景需求?

 

2. 定制化系列?

定制范圍:?

尺寸定制:非標(biāo)準(zhǔn)接口尺寸(如特殊英寸 / 毫米規(guī)格)?

規(guī)格定制:特殊過濾精度(亞微米級定制)、耐高溫升級(超 400℃場景)?

工況定制:針對強(qiáng)腐蝕性氣體、易燃易爆氣體的材質(zhì)優(yōu)化(如特殊合金材質(zhì))?

適用場景:非標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備接口、極端工況(高腐蝕 / 超高溫 / 易燃易爆氣體)、特殊工藝需求?

優(yōu)勢:完全匹配客戶專屬設(shè)備與工況,解決非標(biāo)場景痛點?。

 

常見問答

 

問:這款過濾器能適配我們現(xiàn)有的半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)嗎??

答:可以。過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計,兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口,且支持在現(xiàn)有配管上直接安裝,無需改造管路,可無縫對接您的系統(tǒng)。?

 

問:安裝時需要切割或焊接管道嗎?會不會影響系統(tǒng)潔凈度??

答:無需切割或焊接。過濾器采用墊片式表面密封設(shè)計,直接通過 VCR 接口連接,減少現(xiàn)場施工步驟,避免施工過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)污染高純氣體系統(tǒng),保障潔凈度。?

 

問:我們的工藝溫度達(dá)到 380℃,這款過濾器能穩(wěn)定工作嗎??

答:可以。過濾器耐高溫達(dá) 400℃,且整體采用 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu),在 380℃的工藝溫度下能保持穩(wěn)定過濾性能,不會因高溫導(dǎo)致材質(zhì)變形或密封失效。?

 

問:針對強(qiáng)腐蝕性的特種氣體,過濾器的材質(zhì)能耐受嗎??

答:可以。過濾器本身具備耐腐蝕特性,同時支持定制化服務(wù),可針對強(qiáng)腐蝕性氣體優(yōu)化材質(zhì)(如特殊合金),確保在腐蝕性工況下長期穩(wěn)定使用,您可告知具體氣體類型,我們將提供適配方案。?

 

問:過濾器的過濾精度是多少?能滿足半導(dǎo)體行業(yè)的微粒控制要求嗎??

答:過濾器可精準(zhǔn)阻隔微米級及亞微米級微粒(具體精度可根據(jù)需求定制),能有效避免微粒污染 MFC、精密閥門等組件,完全契合半導(dǎo)體行業(yè)對高純氣體輸送的微粒控制標(biāo)準(zhǔn),保障工藝穩(wěn)定性。?

 

問:如果我們需要非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的過濾器,能定制嗎?周期大概多久??

答:可以定制。我們支持特定尺寸、規(guī)格及特殊工況的定制服務(wù),定制周期需根據(jù)您的具體需求(如尺寸復(fù)雜度、材質(zhì)要求)確定,一般常規(guī)定制款 7-15 個工作日,特殊復(fù)雜定制可與技術(shù)顧問溝通確認(rèn)。

 

我們的 VCR 金屬墊片式過濾器,作為專為高純工藝場景設(shè)計的過濾組件,能有效降低關(guān)鍵工藝氣流中的顆粒物與雜質(zhì)含量,為半導(dǎo)體氣體分配、IGS 氣體控制等系統(tǒng)筑牢潔凈防線!?

 

無論是守護(hù) MFC 模塊、精密閥門免受微粒侵襲,還是為光刻機(jī)、CVD/PVD 設(shè)備的高純管路減少雜質(zhì)干擾,它都能憑借全金屬結(jié)構(gòu)、400℃耐高溫特性及 1/4”/3/8”/1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)接口適配性,無縫融入您的現(xiàn)有系統(tǒng) —— 墊片式安裝無需額外改管,低壓 / 高壓型可選適配多樣工況,更支持定制化方案應(yīng)對特殊氣體需求。?

 

歡迎聯(lián)系我們的工程師,為您 1 對 1 分析工況、優(yōu)化過濾方案,通過減少雜質(zhì)導(dǎo)致的系統(tǒng)缺陷,助力您實現(xiàn)最佳的現(xiàn)場應(yīng)用效果,保障工藝穩(wěn)定與設(shè)備長效運行!?

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