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HF 系列過濾器在半導體制造的各個環節的應用案例!

?在半導體制造這個高度精密且復雜的領域,HF 系列高壓氣體專用過濾器發揮著不可或缺的關鍵作用,貫穿于多個重要環節。

?在晶圓制造的光刻環節,對光線的精準控制要求極高,任何微小的顆粒或雜質都可能導致光刻圖案的偏差。HF 系列過濾器憑借其卓越的過濾性能,有效去除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹等顆粒雜質,以及油霧和碳氫化合物。例如,某知名半導體企業在光刻工藝中引入 HF 系列過濾器后,因雜質導致的光刻缺陷率顯著降低,從原來的每千片晶圓出現數十個缺陷,降低到個位數,大大提高了晶圓的良品率,為后續芯片制造奠定了堅實基礎。

?化學氣相沉積(CVD)過程中,需要高純氣體參與反應以在晶圓表面形成均勻的薄膜。HF 系列過濾器的高透氣性和高效過濾能力確保了參與反應的氣體純凈無雜。它能穩定地濾除氣體中的各類雜質,使反應過程更加精準和穩定。一家大型半導體制造商反饋,使用 HF 系列過濾器后,CVD 工藝的薄膜厚度均勻性得到明顯改善,薄膜的質量和穩定性大幅提升,有效減少了因薄膜問題導致的芯片性能不良現象。

在芯片封裝環節,對環境的潔凈度和氣體的純度同樣有著嚴格要求。HF 系列過濾器的堅固結構和耐高溫、耐腐蝕特性使其能夠適應封裝過程中的各種復雜環境。它持續為封裝設備提供純凈的氣體,防止雜質對芯片和封裝材料造成污染。某半導體封裝廠采用 HF 系列過濾器后,封裝過程中的污染問題得到有效控制,產品的可靠性和穩定性顯著增強,降低了因封裝不良導致的芯片失效風險,提高了產品的整體質量和市場競爭力。

?此外,在半導體制造過程中的離子注入、蝕刻等環節,恒歌HF 系列過濾器也都表現出色。其 50Mpa 的設計壓力能夠輕松應對高壓氣體輸送需求,穩定的過濾效果保障了各個工藝環節的順利進行。而且濾芯可更換的便捷設計,讓設備維護更加高效,減少了停機時間,提高了生產效率。HF 系列過濾器以其全面的優勢,成為半導體制造各個環節的得力助手,有力推動著半導體產業不斷向更高精度和更高質量發展。

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發布時間 24-12-04
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